德國(guó)MESA微氧測(cè)量系統(tǒng)，專(zhuān)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)的熱處理工藝。

德國(guó)MESA微氧測(cè)量系統(tǒng)是通過(guò)抽取氣體到特制測(cè)量室，然后通過(guò)Lambda探頭在穩(wěn)定受控的溫度下進(jìn)行微氧測(cè)量的精密系統(tǒng)，可以輸出模擬信號(hào)對(duì)應(yīng)ppm氧含量。

量程：   0…5 / 10 / 100 / 10000 ppm

精度：   ± 1 % FS

優(yōu)勢(shì)：   四點(diǎn)校正

輸出：   0 (4)…20mA 或 0…10V

產(chǎn)地：   德國(guó) （ISO 9001 : 2015認(rèn)證）

適用行業(yè)： 半導(dǎo)體

主要客戶(hù)： Mattson

德國(guó)MESA微氧測(cè)量系統(tǒng)采用氧化鋯探頭（Lambda探頭）設(shè)計(jì)，可以保持在恒定600℃測(cè)量，不受爐內(nèi)溫度影響，Lambda探頭工作狀態(tài)穩(wěn)定，使用壽命比其它同類(lèi)產(chǎn)品更長(zhǎng)，實(shí)際使用壽命可到10年之久；

德國(guó)MESA微氧測(cè)量系統(tǒng)，每一個(gè)Lambda探頭均有其獨(dú)特的零點(diǎn)漂移系數(shù)K1和溫度補(bǔ)償系數(shù)K2，從而使智能電源輸出的測(cè)量信號(hào)更為精準(zhǔn)。量程和輸出類(lèi)型可選。亦可將測(cè)量結(jié)果通過(guò)RS232/RS485等接口連接至上位機(jī)，實(shí)現(xiàn)集中控制功能。